本發(fā)明公開(kāi)了一種低溫分子束產(chǎn)生和速度的測(cè)量裝置及方法，其裝置包括：4K低溫分子束源產(chǎn)生器、靜電四極直導(dǎo)引、高壓直流電源、高壓開(kāi)關(guān)、DIO64數(shù)據(jù)采集卡時(shí)序控制裝置、LabVIEW控制模塊及四極質(zhì)譜儀信號(hào)測(cè)量器。其方法是通過(guò)4K溫度氦（He）原子與樣品分子進(jìn)行碰撞得到冷分子束，經(jīng)過(guò)與4K?He原子充分的碰撞后得到低平動(dòng)和內(nèi)態(tài)溫度的分子束源。四極質(zhì)譜儀探測(cè)到所有化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的分子，配合高壓開(kāi)關(guān)和靜電四極直導(dǎo)引，得到所有可導(dǎo)引的極性分子的速度分布信息。本發(fā)明適用于測(cè)量缺乏分子光譜數(shù)據(jù)信息的分子束速度分布。