本發(fā)明公開了一種射頻串擾的測量方法、設備和系統(tǒng)，主要內容包括：通過調節(jié)等離子體增強型化學氣相沉積PECVD系統(tǒng)中射頻電極(包括陽極和陰極）的匹配網(wǎng)絡阻抗值，和/或者所述射頻電極的射頻能量發(fā)生設備的阻抗值，使所述匹配網(wǎng)絡阻抗值及所述射頻電極阻抗值之和與所述射頻能量發(fā)生設備的阻抗值相同，利用射頻電極與射頻能量發(fā)生設備之間能量傳遞的可逆性，測量所述射頻電極接收到的電信號，根據(jù)測量得到的電信號，確定所述射頻電極所受到的射頻串擾的能量，這樣對PECVD系統(tǒng)中射頻電極間產(chǎn)生的射頻串擾進行定量測量，有利于根據(jù)測量結果排除該射頻串擾，增加PECVD系統(tǒng)中射頻電極的工作效率。