本申請公開了一種超導(dǎo)薄膜的參數(shù)測量裝置。該參數(shù)測量裝置包括：腔室，腔室的底部用于對超導(dǎo)薄膜提供機械支撐；互感線圈，用于向超導(dǎo)薄膜提供磁場并采集表征超導(dǎo)薄膜的磁穿透深度的測量信號；以及位于腔室內(nèi)的第一電極和第二電極，第二電極用于與超導(dǎo)薄膜電連接，其中，在磁性測量模式下，腔室內(nèi)填充有離子液體，離子液體至少覆蓋第一電極和超導(dǎo)薄膜，從而參數(shù)測量裝置通過調(diào)整第一電極和第二電極之間的柵壓控制離子液體，以調(diào)整超導(dǎo)薄膜的化學(xué)組分。該參數(shù)測量裝置可以提高超導(dǎo)薄膜參數(shù)測量的效率和準(zhǔn)確性。