本發(fā)明揭示了一種磷硼預(yù)擴散工藝用測試片的循環(huán)利用方法，先將回收測試片通過100～120℃的硫酸和雙氧水混合溶液中浸泡及室溫下純水沖洗，去除回收測試片表面油脂，纖維及分子型沾污；再利用二氧化硅刻蝕液或氫氟酸刻蝕去除其表面的富磷/硼氧化層膜；最后利用酸性混合液對回收的測試片進行刻蝕減薄至規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)。實施本發(fā)明的技術(shù)方案并將其投入生產(chǎn)工藝后，其突出效果為：一者采用化學(xué)方法減薄，操作簡便且成本低廉；再者對于磷/硼預(yù)擴散的測試片，不需要考慮OISF的影響，故不需要退火工藝，簡化了工藝流程；并且使用本發(fā)明循環(huán)利用方法可以提高測試片的重復(fù)利用率，降低成本兩倍以上。