本發(fā)明屬于光電探測(cè)領(lǐng)域,公開(kāi)了一種日盲/紅外雙波段自動(dòng)能光電探測(cè)器件及制備方法。首先采用低壓有機(jī)化學(xué)氣相沉積方法在藍(lán)寶石襯底層上生長(zhǎng)氮化銦紅外探測(cè)薄膜層,之后采用低溫水溶液方法生長(zhǎng)氧化銦納米電子聚集層,并在其表面濺射非晶氧化鎵日盲探測(cè)薄膜層,最后分別在氮化銦紅外探測(cè)薄膜層及非晶氧化鎵日盲探測(cè)薄膜層用銀膠作為接觸電極,構(gòu)建日盲/紅外雙波段自動(dòng)能光電探測(cè)器件。本發(fā)明的產(chǎn)品對(duì)紫外光和紅外光有著非常好的光響應(yīng),器件無(wú)需外加偏壓,具有自動(dòng)能光電特性,重復(fù)性好,操作簡(jiǎn)單,制造成本低,可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)日盲以及紅外探測(cè)。
聲明:
“日盲/紅外雙波段自動(dòng)能光電探測(cè)器件及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)