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電化學(xué)制造(例如,EFAB)工藝和裝置,其在選擇性沉積期間提供對至少一種電參數(shù)(例如,電壓)的監(jiān)測,其中監(jiān)測的參數(shù)用于幫助確定所做的沉積的質(zhì)量。如果監(jiān)測的參數(shù)指示沉積出現(xiàn)了問題,可以采取各種補救操作以成功形成將要完成的結(jié)構(gòu)。
聲明:
“用于在適形接觸掩模電鍍操作期間監(jiān)測沉積質(zhì)量的方法和裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)