本發(fā)明公開了一種基于氮化鎵薄膜的微型柔性紫外探測器及其制備方法。采用金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積法在石墨烯/介質(zhì)材料為復(fù)合襯底上直接生長晶圓級、低應(yīng)力氮化鎵薄膜，經(jīng)機(jī)械剝離，從襯底上得到可整體轉(zhuǎn)移的氮化鎵薄膜，通過掩膜制作金屬電極，再將氮化鎵薄膜轉(zhuǎn)移到柔性襯底上，制成柔性紫外探測器，實(shí)現(xiàn)對紫外光的探測。本發(fā)明提供的技術(shù)方案，切割方法快速，可批量、低成本制作氮化鎵基微型紫外探測器。本發(fā)明提供的微型柔性紫外響應(yīng)探測器，其典型尺寸為0.01～100mm²，并同時具有較高的靈敏度，能支持在復(fù)雜的野外環(huán)境下工作，可應(yīng)用于微型、可穿戴的紫外探測設(shè)備。