一種微量氫或微量氧的光譜測(cè)量方法，包括以下步驟：對(duì)含微量氧或微量氫的混合氣體干燥處理；將干燥后的混合氣體中水蒸氣的含量進(jìn)行測(cè)量，得到初始水蒸氣含量A；將混合氣體中氧氣與氫氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成水蒸氣；將反應(yīng)后的氣體進(jìn)行水蒸氣的含量測(cè)量，得到反應(yīng)后水蒸氣含量B；根據(jù)化學(xué)反應(yīng)式：2H₂+O₂=2H₂O，可知B與A的差值與參加反應(yīng)的微量氫氣的濃度等于為1：1的比例，差值與參加反應(yīng)的微量氧氣的濃度等于為2：1的比例，從而可推算初始混合氣體中含有的微量氫或微量氧的含量。本發(fā)明的測(cè)量方法操作簡(jiǎn)單，方便快捷，且測(cè)量結(jié)果較為準(zhǔn)確。