本發(fā)明公開(kāi)了樣品臺(tái)、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備和原位測(cè)量系統(tǒng)。該原位樣品臺(tái)包括導(dǎo)熱樣品座、配套使用的用于固定襯底的第一環(huán)形絕緣壓片、第二環(huán)形絕緣壓片和緊固件，以及兩組探針組件。探針組件中探針臂支架上部設(shè)有探針臂通道且中部設(shè)有彈性件，探針臂穿過(guò)探針臂通道且可上下移動(dòng)和/或水平轉(zhuǎn)動(dòng)；彈性件的一端與探針臂支架相連，彈性件的另一端與探針臂可拆卸相連；金屬導(dǎo)線貫穿探針臂且其一端與金屬探針相連另一端適于與電化學(xué)測(cè)試裝置相連；彈性件與探針臂相連時(shí)處于拉伸狀態(tài)，探針臂在彈性件的回彈力作用下可使金屬探針與集電極接觸。采用該樣品臺(tái)可實(shí)現(xiàn)薄膜生長(zhǎng)設(shè)備和電化學(xué)測(cè)試裝置的耦合，原位精確、方便、高效地測(cè)試薄膜樣品的高溫電化學(xué)性能。