本發(fā)明提供一類適用于電化學(xué)電容-電壓(ECV)方法測量銻化物半導(dǎo)體材料載流子濃度剖面分布電解液,目的在于提高電化學(xué)電容-電壓方法測量銻化物材料載流子濃度的準(zhǔn)確性。其基本特征在于:基礎(chǔ)溶液為酒石酸鉀鈉的水溶液;在測量不同導(dǎo)電類型(p型或n型)的銻化物半導(dǎo)體材料時,分別添加酸性溶液或者堿性溶液以形成可靠的電解液—半導(dǎo)體肖特基結(jié),從而達(dá)到準(zhǔn)確測量的目的。添加的酸性溶液可以是鹽酸、酒石酸或冰醋酸等非氧化性酸或它們的混合物,添加的堿性溶液可為氫氧化鈉或氫氧化鉀與乙二胺四乙酸(EDTA)的混合溶液。在電化學(xué)C-V方法測量中采用此電解液測量銻化物材料的剖面載流子濃度,能獲得與霍爾等方法測量結(jié)果相符的結(jié)果,并且具有無毒性、易保存等優(yōu)點。