本發(fā)明涉及一種用于多晶鎢或單晶鎢材料組織檢驗(yàn)的試驗(yàn)樣品制備、檢驗(yàn)方法，包括一種用于多晶鎢或單晶鎢材料低倍和顯微組織檢驗(yàn)的表面拋光方法、一種用于多晶鎢或單晶鎢材料低倍和顯微組織檢驗(yàn)的表面選擇性腐蝕方法、一種用于多晶鎢或單晶鎢材料的低倍組織檢驗(yàn)方法、一種用于多晶鎢或單晶鎢材料的顯微組織和精細(xì)結(jié)構(gòu)檢驗(yàn)方法。利用單晶鎢或單晶鎢材料表面不同晶面取向耐蝕性差異，在電化學(xué)拋光表面的基礎(chǔ)上，通過(guò)進(jìn)一步調(diào)整電壓參數(shù)使材料表面發(fā)生選擇性腐蝕，進(jìn)一步使用掃描電子顯微鏡等微觀分析方法對(duì)因選擇性腐蝕顯示的微觀晶體取向有差異的顯微組織和精細(xì)結(jié)構(gòu)(大角晶界、小角晶界、亞晶界、晶面取向角)進(jìn)行檢驗(yàn)(觀察和測(cè)量)。