本發(fā)明提供一種檢測C₄F₇N/CO₂/O₂氣體與固體材料相容性的防氧化試驗裝置，所述試驗裝置分為試驗部分和保護部分，所述試驗部分包括不銹鋼氣罐設備，所述保護部分包括：直流電源、恒電位儀和輔助陽極，所述直流電源陽極通過恒電位儀和輔助陽極導通，所述直流電源陰極與所述試驗部分的不銹鋼氣罐設備導通，所述試驗部分的不銹鋼氣罐設備與所述保護部分的輔助陽極同時接地極。本發(fā)明試驗裝置采用X射線衍射試驗的方法來判定混合氣體與固體材料的相容性，同時基于電化學中犧牲陽極的陰極保護法對試驗氣罐加以保護，防止其在長期的試驗過程中被混合氣體中的氧氣所腐蝕氧化。本發(fā)明設計精巧，利于推廣利用。