本發(fā)明公開了一種基于半導體硬微針的微流體腔水質(zhì)檢測方法，包括以下具體特征：制作硬微針、制作微流體腔、放入待測水體、通電、測量電流、測量離子濃度。通過上述方式，本發(fā)明提供的基于半導體硬微針的微流體腔水質(zhì)檢測方法，通過半導體的硬微針可以精確測量水體內(nèi)的離子濃度，這種方法沒有二次污染，且因為是微測量，所以測量精度高，需要的待測樣本少，可以做少量精確測量，由于這種測量方法不需化學反應，測量時間短，可以做到及時測量。