本發(fā)明涉及用于核酸分子痕量檢測的功能化微井芯片及其制備方法。是以納米二氧化硅為基底，修飾十八烷基三氯硅烷，覆蓋掩膜板，紫外光降解未覆蓋區(qū)域的十八烷基三氯硅烷，得到圖案化納米二氧化硅超親水微井，在超親水微井區(qū)域修飾功能化硅烷試劑，功能化硅烷試劑通過共價(jià)鍵在納米二氧化硅超親水微井區(qū)域修飾上功能化基團(tuán)，功能化基團(tuán)可與配基結(jié)合，形成具有生物特異親和性的功能化微井芯片。這種功能化微井芯片具備定點(diǎn)限域富集的優(yōu)點(diǎn)，使點(diǎn)樣簡單方便、點(diǎn)樣點(diǎn)規(guī)整均一，提高了檢測的準(zhǔn)確性，同時(shí)這種功能化微井芯片光學(xué)性質(zhì)良好、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，以共價(jià)鍵牢牢鍵合相應(yīng)配基修飾的核酸捕獲鏈，提高了核酸固化量，可實(shí)現(xiàn)對核酸生物分子的痕量檢測。