一種用于使用研磨模塊研磨基板上管芯位置的方法。在計(jì)量站預(yù)先測(cè)量所述基板上選擇的位置處的厚度，每個(gè)位置對(duì)應(yīng)于單個(gè)管芯的位置。將所述計(jì)量站針對(duì)所選擇的基板的所述位置所獲得的所述厚度提供給研磨模塊的控制器。針對(duì)所述基板上每個(gè)所選擇的位置確定厚度改正。針對(duì)每個(gè)所選擇的位置由所述厚度改正形成研磨配方中的研磨步驟。計(jì)算針對(duì)每個(gè)管芯位置的研磨參數(shù)以用于所述配方。