本發(fā)明公開了一種用于檢測SF₆替代氣體分解產物的亞微米薄膜傳感器，包括傳感器基底，傳感器基底上表面為電流感應薄膜，用于輸出傳感器響應電流，傳感器基底下表面為粘合材料層，用于固定傳感器基底，電流感應薄膜上設置有氣敏探針陣列，氣敏探針陣列外部涂覆有無定型氟聚合物層，其中，傳感器基底采用聚四氟乙烯或者液態(tài)硅膠材料制成，電流感應薄膜采用金屬材料制成，通過屏蔽電纜輸出響應電流，粘合材料層為低滲透性的聚丙烯薄膜，氣敏探針陣列材料為對氟原子敏感的葉綠素，氣敏探針陣列利用等離子體化學氣相沉積法制備而成，本發(fā)明解決了現有技術中缺乏能夠精確檢測環(huán)境友好型SF₆替代氣體分解組分的設備的問題。