本公開涉及化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)及使用方法。一種調(diào)節(jié)拋光襯墊的方法包括從第一傳感器接收關(guān)于所述拋光襯墊的粗糙度的信息。該方法還包括使用調(diào)節(jié)器來調(diào)節(jié)所述拋光襯墊。該方法還包括在所述調(diào)節(jié)之后檢測所述拋光襯墊的粗糙度。該方法還包括響應(yīng)于所檢測到的所述拋光襯墊的粗糙度在閾值粗糙度范圍之外,重復(fù)所述調(diào)節(jié)。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)及使用方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)