一種X熒光多元素分析儀,包括激發(fā)光源,其具有一X光管。X光管上設(shè)置一準(zhǔn)直器,準(zhǔn)直器前端設(shè)有初級濾色片,以及提供X光管激發(fā)X射線能量的光管高壓。樣品盤,其具有一轉(zhuǎn)盤。轉(zhuǎn)盤上開設(shè)有一樣品孔供放置待測樣品,樣品孔處于通過準(zhǔn)直器校準(zhǔn)的X射線的光路上,同時(shí)準(zhǔn)直器與樣品孔呈一角度。探頭正對樣品孔接收由X射線激發(fā)樣品產(chǎn)生的X熒光,其具有一個正比計(jì)數(shù)管。正比計(jì)數(shù)管前端設(shè)有次級濾色片。一個電路輸出設(shè)備與探頭串聯(lián)。在本發(fā)明中,激發(fā)光源的初級濾色片為銅箔,次級濾色片為含硅的薄膜。采用上述結(jié)構(gòu)的分析儀,是一種無化學(xué)污染、無輻射污染、測量時(shí)間短、精度高、結(jié)構(gòu)簡單、安全可靠、價(jià)格便宜的X光管激發(fā)的能量色散型X射線熒光的多元素分析儀。