一種缺陷原因分析方法,包括首先提供一樣本,該樣本的上表面上具有多個缺陷;接著進行一缺陷檢測,以檢測出該缺陷的大小及位置;對該樣本進行一化學組成分析;再根據(jù)該化學組成分析的結(jié)果來進行一圖譜分析;最后根據(jù)該圖譜分析的結(jié)果來判別該缺陷產(chǎn)生的原因。
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