本發(fā)明公開了一種用于單面化學(xué)機(jī)械平坦化加工動(dòng)態(tài)感知的監(jiān)測(cè)裝置，屬于超精密加工監(jiān)測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。本監(jiān)測(cè)裝置安裝在單面研磨拋光機(jī)上，可實(shí)現(xiàn)平面光整過程中工件狀態(tài)的在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，其特征在于：包括傳感器單元：包含至少兩種傳感器采集監(jiān)測(cè)信號(hào)用于聯(lián)合監(jiān)測(cè)；信號(hào)調(diào)節(jié)單元：對(duì)所述采集信號(hào)幅值放大、衰減和/或頻譜過濾；數(shù)據(jù)采集單元：對(duì)所述信號(hào)調(diào)節(jié)單元處理后的模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)，并進(jìn)行數(shù)字濾波、降噪、存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)預(yù)處理；處理器單元：對(duì)所述數(shù)據(jù)采集單元預(yù)處理后的數(shù)據(jù)進(jìn)行模式識(shí)別實(shí)現(xiàn)工件加工動(dòng)態(tài)指標(biāo)的可視化。本發(fā)明設(shè)計(jì)的在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)裝置具有多傳感、抗干擾、高準(zhǔn)確性、適用面廣、成本低、操作方便、智能化水平高等優(yōu)點(diǎn)。