本發(fā)明公開了一種回轉(zhuǎn)工件電化學(xué)超精加工的氧化膜厚度監(jiān)測方法及實現(xiàn)裝置，屬于電化學(xué)機(jī)械復(fù)合加工技術(shù)領(lǐng)域。包括霍爾電流傳感器、機(jī)床主軸、伸縮氣缸、聲發(fā)射傳感器、超精油石、引電盤、石墨塊、安裝板、螺釘、回轉(zhuǎn)工件、壓塊、芯軸、渦卷彈簧、大理石轉(zhuǎn)臺、多孔質(zhì)陰極、脈沖電源，其特點在于通過將電化學(xué)加工采樣的電流信號、超精油石研磨提取的聲發(fā)射均方根值和橢偏儀表征的氧化膜厚度相結(jié)合，建立氧化膜厚度動態(tài)變化的監(jiān)測方法，提高回轉(zhuǎn)工件電化學(xué)超精加工的可控性和表面完整性；利用多孔質(zhì)陰極良好的導(dǎo)電、滲透性能和較大的比表面積，調(diào)控回轉(zhuǎn)工件表面的電場分布，促進(jìn)氧化膜均勻覆蓋，修正電化學(xué)超精加工的宏觀輪廓誤差。