本公開是關(guān)于一種研磨器、化學(xué)機(jī)械研磨裝置及研磨器的檢測(cè)方法，研磨器包括研磨部和驅(qū)動(dòng)部，研磨部安裝于驅(qū)動(dòng)部；驅(qū)動(dòng)部?jī)?nèi)設(shè)置有氣流通路，氣流通路一端與負(fù)壓產(chǎn)生裝置連接，另一端與研磨部連接，用于在研磨部與驅(qū)動(dòng)部連接的表面形成負(fù)壓，使研磨部吸附于驅(qū)動(dòng)部；研磨器還包括測(cè)壓?jiǎn)卧瑴y(cè)壓?jiǎn)卧慌渲脼闇y(cè)量氣流通路內(nèi)的壓力。本公開中研磨器的驅(qū)動(dòng)部?jī)?nèi)設(shè)置連通負(fù)壓產(chǎn)生裝置的氣流通路，由氣流通路的另一端與研磨部連接，使得研磨部安裝狀態(tài)下，氣流通路呈密閉空間。通過對(duì)其氣流通路內(nèi)的壓力進(jìn)行測(cè)量，根據(jù)其壓力可以確定研磨部的安裝狀態(tài)，降低偵測(cè)難度，提升偵測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確度。