本實用新型是一種晶硅片切割刃料的中水回用系統(tǒng)。本實用新型的旨在解決現有技術中水處理過程中臭氧尾氣難以處理對人體、設備以及大氣造成危害的問題，以及中水處理不徹底、水體中COD殘留較高、電導率較高難以滿足回用生產使用要求的問題。本實用新型包括沿管道依次流經的砂濾罐、臭氧接觸池、活性炭罐、反滲透過濾器和EDI過濾器，所述砂濾罐、臭氧接觸池、活性炭罐、反滲透過濾器、EDI過濾器連接有與其相配套的泵，在所述臭氧接觸池的頂部還安裝有收集罐和與該收集罐相連接的臭氧處理器。本實用新型的有益效果在于：將晶硅片切割刃料行業(yè)排放的廢水進行深度處理，并且將臭氧尾氣進行收集和無害化處理，中水水體具有低COD和低電導率的特點，完全滿足中水回用后生產使用要求。