本發(fā)明涉及一種回收金剛石線鋸切割硅片廢料漿中多晶硅的方法。主要包括以下步驟：將廢料漿進行固液分離；在固體物中加入混合酸，反應(yīng)10～12小時后脫酸，清洗至中性；以純水造漿后用旋流器分離出大部分金剛石，壓濾后得到含量為99%的硅料，再將其分散在重液中，離心分離后用純水反復(fù)清洗；將清洗后的料漿通過大孔離子交換樹脂裝置去除離子，干燥得到99.99%的硅粉；硅粉壓制成塊后在多晶硅鑄錠爐中鑄錠，切除雜質(zhì)，得到純度為99.9999%的硅錠。本發(fā)明不同于傳統(tǒng)多晶硅制備及回收技術(shù)，工藝簡單、成本低廉，易于工業(yè)化生產(chǎn)。