一種稀土拋光粉，稀土拋光粉是由晶型為氟氧化物稀土與立方相稀土氧化物組成的均一固溶體。還公開(kāi)了其制備方法，包括氯化稀土水溶液的制備、沉淀液的制備、沉淀、脫水、焙燒、粉碎等。本發(fā)明制備的稀土拋光粉是由晶型為氟氧化物稀土與立方相稀土氧化物組成的均一固溶體。本發(fā)明通過(guò)在沉淀過(guò)程中引入F，減少了后氟化的步驟，具有工藝簡(jiǎn)單，成本低，廢水少的優(yōu)點(diǎn)；通過(guò)沉淀過(guò)程中添加硫酸銨，在高溫焙燒時(shí)，一方面確保拋光粉中主要活性組分氧化鈰晶格點(diǎn)陣錯(cuò)亂，形成活化的氧化鈰，使活化的氧化鈰與玻璃表面具有親和力，提高拋光粉的化學(xué)活性，進(jìn)而提升稀土拋光粉的拋蝕量；另一方面，確保稀土氧化物為立方晶型，促進(jìn)稀土拋蝕量的提升。