本發(fā)明公開了一種等離子流化生產(chǎn)鍺烷的方法，氫氣進入等離子氫發(fā)生器產(chǎn)生等離子氫進入流化床；與鍺粉進行流化反應(yīng)生成鍺烷；反應(yīng)物流的氣相增壓后進行冷凝，冷凝液塔的中上部進入脫輕塔進行輕組分雜質(zhì)的去除，塔釜物料從中下部進入脫重塔進行重組分雜質(zhì)的去除，塔頂?shù)玫郊兌炔坏陀?N純度的鍺烷進入鍺烷產(chǎn)品罐。脫輕塔塔頂采出的輕組分雜質(zhì)與脫重塔塔釜采出的重組分雜質(zhì)進入尾氣燃燒器進行焚燒處理生產(chǎn)二氧化鍺粉末，再用氫氣進行還原生產(chǎn)鍺粉，得到的鍺粉進入鍺粉罐，循環(huán)利用。本發(fā)明解決了目前鍺烷生產(chǎn)效率低下，副產(chǎn)物與廢水產(chǎn)生等問題，不產(chǎn)生廢水和難以分離及處理的副產(chǎn)物，反應(yīng)的效率高，產(chǎn)品純度高。