本發(fā)明公開一種有機硅廢水凈化處理系統(tǒng)及方法，包括使用管道依次串聯(lián)的絮凝沉淀器、活性炭過濾器和回用水箱；絮凝沉淀器連接有機硅廢水的輸入口以及排放有機硅廢水沉降后生成的清液的排出口，排出口與活性炭過濾器之間連接有串聯(lián)的汽提器和催化氧化器；絮凝沉淀器將有機硅廢水沉降分離為污泥和清液而將污泥去除，汽提器用于去除有機硅廢水中的揮發(fā)性物質，催化氧化器用于去除有機硅廢水中有機物，活性炭過濾器用于過濾有機硅廢水中的懸浮物和有機物，回用水箱用于將凈化后的有機硅廢水回收或排放。本發(fā)明對有機硅廢水進行絮凝、汽提、催化氧化和過濾處理而將有機硅廢水凈化回收，達到國家規(guī)定的排放標準，凈化效率高、性能穩(wěn)定可靠。