本實用新型公開了一種超純水廢水處理裝置，包括依次經管路連通的緩沖水箱、增壓泵、石英砂過濾器、活性炭過濾器、全自動軟水器、袋式過濾器、中間水箱、中間水泵、精密過濾器、紫外線殺菌器、高壓泵、一級RO裝置，所述的緩沖水箱的進水管與超純水生產系統(tǒng)的RO裝置濃水側連通，所述的一級RO裝置的產水側連通至超純水原水箱。因為超純水廢水含鹽多，本實用新型的水處理裝置采用在緩沖水箱側閉循環(huán)式加藥并通過pH檢測的方式判斷緩沖水箱內水質鹽類處理情況，同時輔以曝氣裝置提高反應效果，只有pH合格后才進行后續(xù)處理，有效提高了各級過濾處理效果。