一種微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域的用于芯片實驗室的聲表面波微流體驅(qū)動器及其制造方法。本發(fā)明驅(qū)動器包括:基底、叉指換能器和微流體溝道,基底是128°Y-X的鈮酸鋰單晶體,其上是相互交叉的叉指電極形成的IDT,微流體溝道與基底結(jié)合,本發(fā)明采用浮動電極型單向換能器結(jié)構(gòu)設(shè)計來實現(xiàn)微流體的單方向驅(qū)動。方法步驟:①浮動電極型單向換能器的加工;②微流體溝道的微加工;③基底與微流體溝道的結(jié)合。本發(fā)明整個加工過程完全可以通過基于半導(dǎo)體材料微制造方法來制作,由于其本身無活動微部件,對流體介質(zhì)無損傷等特點,使其具有工作可靠、穩(wěn)定、壽命長等優(yōu)點。