本發(fā)明提供一種成膜裝置。其防止形成電子注入層的有機(jī)EL元件的金屬層的劣化。成膜裝置PM1具有:處理容器(100),其于內(nèi)部在基板上實(shí)施所需的處理;蒸鍍?cè)?200)(第一蒸鍍?cè)?,其收納有機(jī)材料,將被收納的有機(jī)材料加熱并使其氣化;第一噴出機(jī)構(gòu)(120a)～(120f),其內(nèi)置于處理容器(100)并與蒸鍍?cè)?200)連結(jié),將在蒸鍍?cè)?200)被氣化的有機(jī)材料排向處理容器內(nèi)的基板G;氣化器(300)(第二蒸鍍?cè)?,其收納鋰等堿金屬材料,將被收納的堿金屬材料加熱并使其氣化;第二噴出機(jī)構(gòu)(130),其內(nèi)置于處理容器(100)并與氣化器(300)連結(jié),將在氣化器(300)被氣化的堿金屬材料排向處理容器內(nèi)的基板G。