本發(fā)明公開(kāi)了一種利用固態(tài)置換反應(yīng)制備氮化鎵晶體的方法,主要包括以下步驟: (1)反應(yīng)前驅(qū)體鎵酸鋰和氮化硼混合后預(yù)壓制成體塊,或者將其分別預(yù)壓制成塊片后 交替疊放成體塊;(2)將混合后預(yù)壓制成的體塊或交替疊放成的體塊反應(yīng)物放置到高 壓合成塊中;(3)將組裝好的高壓合成塊置于大壓機(jī)的合成腔中進(jìn)行固態(tài)置換反應(yīng), 合成溫度不低于850℃,壓力不低于1.0GPa,合成反應(yīng)時(shí)間不少于1.0分鐘;(4)置 換反應(yīng)完結(jié)后降溫泄壓,取出合產(chǎn)物,用酸液浸泡合成產(chǎn)物,溶解去除LiBO2,即得到 氮化鎵晶體。本發(fā)明具有原材料成本低廉,生產(chǎn)技術(shù)條件要求低,操作方便,晶體生長(zhǎng) 速率高,合成時(shí)間短,易于推廣和規(guī)?;a(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。
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“利用固態(tài)置換反應(yīng)制備氮化鎵晶體的方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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