本發(fā)明提供了一種保護型結(jié)構(gòu)硅氧復合薄膜及其制備方法與應用。所述保護型結(jié)構(gòu)硅氧復合薄膜的制備方法包括的步驟有：將硅靶材在惰性氣體與氧氣的混合氣氛下進行濺射處理，在基體上生長硅氧復合薄膜，再在已有硅氧復合薄膜的基板上，將保護層材料靶材在惰性氣氛下進行濺射處理。本發(fā)明制備的硅氧復合薄膜的硅氧復合薄膜具有界面電阻小的特性，而且可以減少和阻止電解液與硅氧復合之間的不可逆副反應，減少固體電解質(zhì)膜的產(chǎn)生，保持鋰離子嵌入/脫出過程中的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。所述薄膜保護層結(jié)構(gòu)及制備方法工藝簡單，效果顯著，既提高了硅氧薄膜的庫倫效率和容量發(fā)揮，又增加了薄膜在循環(huán)過程中的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。