本發(fā)明屬于集成光學(xué)和光纖傳感技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種用于三軸光纖陀螺的硅基?LN基混合集成光學(xué)
芯片,該硅基?LN基混合集成光學(xué)芯片由硅基芯片和鈮酸鋰基兩塊芯片拼接而成,硅基芯片上集成了輸入光波導(dǎo)、1×3Y分支耦合器、第七輸出光波導(dǎo)、第一90°圓弧光波導(dǎo)、第一方向耦合器、第八輸出光波導(dǎo)、第二90°圓弧光波導(dǎo)、第二方向耦合器、第九輸出光波導(dǎo)、第三90°圓弧光波導(dǎo)、第三方向耦合器;鈮酸鋰基芯片上集成了第一Y分支耦合器、第二Y分支耦合器、第三Y分支耦合器。該芯片混合集成了多個(gè)關(guān)鍵功能波導(dǎo)器件,可實(shí)現(xiàn)光束分束、合束及調(diào)制等,具有集成度高、一致性好、功率低、體積小和可靠性高等眾多優(yōu)點(diǎn),可應(yīng)用于開發(fā)三軸光纖陀螺。
聲明:
“用于三軸光纖陀螺的硅基-LN基混合集成光學(xué)芯片” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)