本發(fā)明提供一種同時(shí)形成鋰二次電池的集電引線形成部和電極活性物質(zhì)部、批量生產(chǎn)性優(yōu)異的真空蒸鍍裝置。在將閘門(12a、12b)關(guān)閉的狀態(tài)下,將卷繞于第一輥(3)的基板(4)送出,向第二輥(8)搬送,直至到達(dá)第一和第二能夠蒸鍍區(qū)域(60a、60b)時(shí)停止。在此,打開閘門(12a),使蒸發(fā)源(9)的坩堝內(nèi)的蒸鍍?cè)险舭l(fā),向位于第一能夠蒸鍍區(qū)域(60a)的基板(4)的表面供給。由此,在基板(4)的表面形成第一層蒸鍍膜。以規(guī)定時(shí)間在基板(4)進(jìn)行蒸鍍之后,關(guān)閉閘門(12a)。接著再次搬送基板(4),使在第一能夠蒸鍍區(qū)域(60a)蒸鍍形成的部分停止于第二能夠蒸鍍區(qū)域(60b)的位置。打開閘門(12a、12b),再次進(jìn)行蒸鍍,在第一能夠蒸鍍區(qū)域(60a)形成第一層,并且在第二能夠蒸鍍區(qū)域(60b),在第一層之上形成與第一層成長(zhǎng)方向不同的第二層蒸鍍膜。