本發(fā)明公開了一種超寬帶聲表面波諧振器,包括15°鈮酸鋰基片,基片上梳狀設(shè)置有金屬指條,金屬指條的寬度d與超寬帶聲表面波諧振器的半個諧振周期p的比值的取值范圍為0.28?0.38,且金屬指條的厚度h與超寬帶聲表面波諧振器的一個諧振周期2p的比值的取值范圍為0.08?0.11。本發(fā)明通過對諧振器占空比和鍍膜相對厚度的優(yōu)化,采用在15°鈮酸鋰材料鍍銅的工藝方法實(shí)現(xiàn)橫向模和瑞利波寄生的有效抑制,使通帶波紋限制在1dB范圍內(nèi),可實(shí)現(xiàn)相對帶寬20%可工程應(yīng)用的小型化、超寬帶的聲表面波濾波器。
聲明:
“超寬帶聲表面波諧振器及濾波器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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