已知的提純SiO2顆粒的方法是在一個(gè)具有垂直方向布置的中心軸線的反應(yīng)器里加熱顆粒填料, 并使填裝料經(jīng)受以規(guī)定流動(dòng)速度以下向上流過反應(yīng)器和填裝料的處理氣體的作用。由此出發(fā), 為了提供一種改善的方法和簡(jiǎn)單合適的裝置, 按本發(fā)明方法建議使用一種含氯的處理氣體; 在裝料部位將處理氣體調(diào)定到至少1000℃的處理溫度并將流動(dòng)速度調(diào)定到至少10厘米/秒。按本發(fā)明的裝置有一個(gè)氣體噴吹裝置用于輸入氣體, 這種噴吹裝置在填裝料之下具有許多在中心軸線旁邊分布的噴氣孔, 用于將處理氣體導(dǎo)入填裝料里。由天然原材料按本發(fā)明提純后的SiO2顆粒的特點(diǎn)是 : 鐵含量少于十億分之二十的重量(20 Gew.—ppb), 最好小于5ppb; 錳的含量小于30 Gew.—ppb, 最好為5ppb; 鋰的含量小于50 ppb, 最好為5ppb; 鉻、銅、鎳的含量分別小于20 Gew.—ppb, 最好小于1ppb。