本發(fā)明屬于集成光學和光纖傳感技術領域，具體涉及一種硅基?LN基混合集成光學芯片的制備方法，該芯片由硅基芯片和鈮酸鋰基兩塊芯片拼接而成，硅基芯片上集成了輸入光波導、1×3Y分支耦合器、第七輸出光波導、第一90°圓弧光波導、第一方向耦合器、第八輸出光波導、第二90°圓弧光波導、第二方向耦合器、第九輸出光波導、第三90°圓弧光波導、第三方向耦合器；鈮酸鋰基芯片上集成了第一Y分支耦合器、第二Y分支耦合器、第三Y分支耦合器。該芯片混合集成了多個關鍵功能波導器件，可實現光束分束、合束及調制等，具有集成度高、一致性好、功率低、體積小和可靠性高等眾多優(yōu)點，可應用于開發(fā)三軸光纖陀螺。