一種用于檢測(cè)襯底的裝置及其使用方法，本發(fā)明結(jié)合壓電材料（如鉭酸鋰、鈮酸鋰）產(chǎn)線的實(shí)際需求以及后續(xù)濾波器件制作加工的實(shí)際需要提出了一種新型的襯底檢測(cè)裝置：該裝置包括主攝像鏡頭、反射率鏡頭、透射率鏡頭、色度采集裝置和計(jì)算機(jī)模塊，利用該裝置可以檢測(cè)襯底的直徑以及襯底拋光面的潔凈度、刮傷和凹洞等缺陷，同時(shí)還可以檢測(cè)襯底邊緣的損傷和襯底的色度，克服了傳統(tǒng)目檢和鐳射檢測(cè)的問題。