本發(fā)明屬于材料制備領(lǐng)域,具體涉及一種多孔硅的強(qiáng)流脈沖電子束制備方法及應(yīng)用。本發(fā)明首先對(duì)單晶硅片進(jìn)行前處理,將單晶硅片置于強(qiáng)流脈沖電子束工作臺(tái)上,啟動(dòng)強(qiáng)流脈沖電子束設(shè)備,對(duì)設(shè)備進(jìn)行抽真空后,設(shè)定加速電壓15?25KV,能量密度2.0?3.0J/cm2,脈沖次數(shù)5?30次,最終獲得經(jīng)強(qiáng)流脈沖的不同孔徑的多孔硅材料。本發(fā)明整個(gè)制備工藝操作簡(jiǎn)單、制得的多孔硅疏松多孔且大小均勻,具有較好的比表面積,單晶硅片用于鋰離子電池后,電池容量有很大的提高,循環(huán)性能優(yōu)良。
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“多孔硅的強(qiáng)流脈沖電子束制備方法及應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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