本發(fā)明涉及一種基于共路干涉的集成電場傳感器,屬于電場測量技術(shù)領(lǐng)域。傳感器包括鈮酸鋰基片、硅基片、墊片、探測單元和調(diào)制單元,鈮酸鋰基片和硅基片通過紫外固化膠相互粘接,鈮酸鋰基片和硅基片分別通過紫外固化膠與墊片相互粘結(jié)。探測單元包括兩個(gè)上接觸電極、連接導(dǎo)線和兩個(gè)偶極子天線;調(diào)制單元包括兩個(gè)下接觸電極、光波導(dǎo)和兩個(gè)調(diào)制電極。本發(fā)明的電場傳感器,具有良好的溫度穩(wěn)定性;在保證傳感器尺寸較小的基礎(chǔ)上,顯著提高了電場測量的靈敏度和動態(tài)范圍;本發(fā)明設(shè)計(jì)的二維電場傳感器,使探測單元中的兩對天線的軸線方向正交,與調(diào)制單元相組合,可實(shí)現(xiàn)二維電場測量。
聲明:
“基于共路干涉的集成電場傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)