本發(fā)明公開了一種鋰氮共摻雜的金剛石半導(dǎo)體的微波等離子氣相沉積系統(tǒng)，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。包括氣相沉積室，所述氣相沉積室內(nèi)設(shè)置有用于放置襯底的安裝底座，安裝底座上方用于對(duì)襯底進(jìn)行加熱的熱絲，所述氣相沉積室內(nèi)還設(shè)置有粉末鋪設(shè)機(jī)構(gòu)，以使粉末均勻鋪設(shè)在襯底上；所述粉末鋪設(shè)機(jī)構(gòu)包括兩端開口并豎直設(shè)置的料筒、入料管道和篩料板；所述入料管道的第一端延伸至氣相沉積室外，第二端延伸至料筒內(nèi)且豎直朝上；所述篩料板設(shè)置于料筒的上方，篩料板正對(duì)料筒頂部開口的位置設(shè)置有篩孔。本發(fā)明能夠保證在半導(dǎo)體材料制備過程中，含有鋰元素的粉末達(dá)到在水平向均勻鋪設(shè)的效果。