本發(fā)明的目的在于提供一種不需要減壓工序、多達(dá)數(shù)次的還原處理，并且通過新型的還原處理制造均質(zhì)性高的體積電阻率為1×1010Ω·cm以上并小于1×1012Ω·cm的鉭酸鋰單晶基板的方法。本發(fā)明的特征在于，將體積電阻率為1×1012Ω·cm以上且為單疇結(jié)構(gòu)的鉭酸鋰單晶基板埋入碳酸鋰粉末中，在常壓下、惰性氣體和還原性氣體的混合氣體氛圍中，以350℃以上且居里溫度以下的溫度進(jìn)行熱處理。另外，在這種情況下，優(yōu)選混合氣體中的還原性氣體的濃度為20.0％以下。