本發(fā)明公開了一種鈮酸鋰晶體研磨過程中的輔助件，屬于超精密研磨加工領(lǐng)域，包括輔助件本體，輔助件本體的中心處設(shè)有用于設(shè)置鈮酸鋰晶體的工件貼片區(qū)域，輔助件本體的材料為高彈性模量氧化鋁，設(shè)置于工件貼片區(qū)域內(nèi)的鈮酸鋰晶體的高度與輔助件本體的高度相同，輔助件本體上均勻設(shè)有提高磨粒進入工件工作區(qū)域量的若干條流道，流道位于工件貼片區(qū)域的周邊，鈮酸鋰彈性模量小，輔助件氧化鋁彈性模量大，在加工過程中去除量不同，通過一定時間的研磨加工，輔助件和工件之間會產(chǎn)生高度差，工件與研磨盤的接觸也從直接接觸轉(zhuǎn)變?yōu)榘虢佑|狀態(tài)，有效減少了磨粒嵌入情況。