本發(fā)明公開了一種基于鉭酸鋰熱釋電材料的太赫茲線列探測器及其制備方法，首先從鉭酸鋰晶圓片上切片減薄獲得線列探測器所需晶片尺寸，然后在晶片背面制備條形電極，形成探測器下電極，該電極亦為線列各單元公用電極；然后在晶片正面形成各單元所需上電極圖形；然后結(jié)合光刻形成單元隔離槽。最后在下電極上制備太赫茲吸收層。至此得到線列探測器敏感元結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)結(jié)合MEMS（微機電系統(tǒng)）加工技術(shù)，可獲得良好的熱隔離效果，且加工工藝相對于微橋結(jié)構(gòu)太赫茲探測器較為簡單。