本發(fā)明屬于酸鋰晶片用具技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種6英寸鈮酸鋰晶片或鉭酸鋰晶片的生產(chǎn)工藝。本發(fā)明公開了一種6英寸鈮酸鋰晶片或鉭酸鋰晶片的生產(chǎn)工藝，其步驟如下：A：切割成厚度0.6-1mm的晶片；B：把晶片裝入還原爐內(nèi)還原；C：研磨后用超聲波清洗干凈；D：粘片工藝；E：研磨工藝；F：拋光工藝；G：清洗工藝：然后裝盒。本發(fā)明采用2次腐蝕去除晶片內(nèi)部應(yīng)力，晶片黑化去靜電荷，機(jī)械化學(xué)法拋光達(dá)到超光滑平面，使得各項指標(biāo)達(dá)到TTV<5um，BOW<40um，warp<40um?PLTV>95%適合大批量生產(chǎn)。