本發(fā)明公開了一種提高類富勒烯薄膜結(jié)合力和摩擦學(xué)性能的方法。該方法利用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)，利用氮?dú)?、磷化氫和甲烷作為氣源，在射頻電源和脈沖負(fù)偏壓的共同作用下在基底上沉積類富勒烯薄膜。其特點(diǎn)是：工藝簡單，經(jīng)濟(jì)高效，沉積溫度低，重復(fù)性好，摩擦系數(shù)極低，鋼基底與類富勒烯薄膜結(jié)合力提升效果明顯。采用這種方法能夠大幅度提升類富勒烯薄膜的結(jié)合力和摩擦學(xué)性能，使類富勒烯薄膜起到更好的潤滑效果。此方法不僅適用于不銹鋼表面，在陶瓷、高分子材料、復(fù)合材料等材料領(lǐng)域也同樣適用，具有廣闊的應(yīng)用前景。因此該發(fā)明所提供的提高結(jié)合力和摩擦學(xué)性能的方法應(yīng)用潛力巨大。