本發(fā)明公開了一種基于低維碲網(wǎng)絡(luò)的電容式壓力傳感器及其制造方法，屬于柔性壓力傳感器領(lǐng)域，包括從上到下依次設(shè)置的第一電極層、低維碲介電敏感層、第二電極層，第一電極層和第二電極層通過激光直寫等微納加工制備獲得，低維碲介電敏感層通過制造二維碲納米片和一維碲納米線的混合粉末，并將此粉末和聚合物彈性體混合制備得到介電彈性薄膜，由于碲具有高介電常數(shù)和低導電性，這使得低維碲填充聚合物復(fù)合材料具有較高介電常數(shù)和較低的介電損耗。此外，一維和二維碲構(gòu)成多結(jié)構(gòu)混合網(wǎng)絡(luò)，當外力施加在傳感器表面時，除了介電敏感層的厚度變化，隨著低維碲網(wǎng)絡(luò)的變化，介電常數(shù)也隨之變化，這顯著增加了傳感器的靈敏度景。