本發(fā)明涉及一種復(fù)合型柔軟壓力位移敏感元件及其研制方法，屬于測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。該敏感元件包括位移敏感層、壓力敏感層和絕緣封裝層。位移敏感層由覆合在聚酰亞胺薄膜上的銅箔線(xiàn)圈構(gòu)成；壓力敏感層由嵌入在聚二甲基硅氧烷內(nèi)部的導(dǎo)電高分子復(fù)合材料構(gòu)成；封裝層由硫化在位移敏感層和壓力敏感層外部的柔性高分子材料構(gòu)成。通過(guò)檢測(cè)銅箔線(xiàn)圈的阻抗變化來(lái)獲取壓力與位移信息。本發(fā)明研制的復(fù)合型柔軟壓力位移敏感元件具有壓力測(cè)量和非接觸式位移測(cè)量的雙重功能，可應(yīng)用于多敏感功能電子皮膚研制或智能制造全流程中整機(jī)及成套裝備的狹小曲面層間壓力測(cè)量和非接觸式位移測(cè)量等領(lǐng)域。