一種三維網(wǎng)絡結(jié)構ZnO/ErGO薄膜的制備方法，其主要是以改進的Hummers法制備氧化石墨烯，配制氧化石墨烯水溶液，在ITO導電玻璃上，用電化學還原沉積的方法制備石墨烯薄膜(ErGO)，然后再電沉積制備具有三維網(wǎng)絡結(jié)構的ZnO/ErGO薄膜。本發(fā)明實現(xiàn)了石墨烯上低溫≤70℃直接生長金屬氧化物半導體材料ZnO，且方法簡單、可控、成本低、環(huán)境友好，ZnO/ErGO/ITO界面結(jié)合力強，可以最大限度的發(fā)揮ZnO與石墨烯的協(xié)同效應，獲得性能優(yōu)越的納米復合材料。