一種輕型大口徑連續(xù)薄膜變形鏡及其制造方法,變形鏡包括鏡面層,鏡面層上側(cè)鍍有反射鍍膜層,鏡面層下方粘接有活性層,活性層上下兩側(cè)分別覆蓋有上電極層和下電極層,反射鍍膜層、鏡面層、覆蓋有電極層的活性層構(gòu)成變形鏡本體,變形鏡本體通過(guò)夾持組件固定,上電極層和下電極層通過(guò)電極引線與外電源連接;制造方法是將鏡面層刻出扇形陣列凹槽;再將上電極層濺射在鏡面層下側(cè),將壓電
復(fù)合材料鋪在上電極層的下側(cè);然后將下電極層濺射在活性層下側(cè),將下電極層刻成圖案化電極;最后將反射鍍膜層濺射在鏡面層上側(cè),然后將電極引線連接在上電極層和下電極層上;本發(fā)明減輕變形鏡的質(zhì)量、降低制造成本、改善初始面形、提高工作精度和像差補(bǔ)償能力。
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“輕型大口徑連續(xù)薄膜變形鏡及其制造方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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